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黎明六氟化硫的应用

作者: 发布时间:2018-12-03 浏览次数:95

黎明六氟化硫的应用

  黎明六氟化硫在常温常压下呈气态,装瓶后为高压液体。无色、无臭、无毒、不燃。具有良好的化学稳定性和热稳定性。近年来,气体在许多生产技术领域中,越来越显示出它的重要性。

  黎明六氟化硫是我国科研、生产等许多部门急需的特种气休,在半导体工业巾用于等离子蚀刻工艺,在光导纤维制造中用作隔离层掺杂剂。SF6气体还是重要的激光材料,在其它领域也有重要用途。

  在TFT-LCD面板厂及其他微电子行业,黎明六氟化硫常用作清洁气体和蚀刻气体,在光导纤维的生产过程中,也常用六氟化硫作为单膜光纤隔离层掺杂剂。

  另外,需要注意的是电器设备内的六氟化硫气体及分解物与绝缘材料反应而生成某些有毒产物。如与含有硅成分的环氧酚醛玻璃丝布板(棒、管)等绝缘件;或以石英砂、玻璃作填料的环氧树脂浇注件、模压件以及瓷瓶、硅橡胶、硅脂等起化学作用,生成SiF4、Si(CH3)2F2等产物。


文章内容来源于六氟化硫:


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